麦谱科技提供的安捷伦7500系列具有完全自动化的易于使用、灵活性、可靠性以及优良的设计,它提供了高水平的分析性能。新的7500系列可配备代八级杆反应池(ORS)技术,提供多种选择的进样附件、应用与维修服务支持,它正在带领实验室进入ICP-MS时代;
应用领域
环境样品分析,包括自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、废弃物等的分析;
半导体材料分析
玻璃、陶瓷和矿冶等样品分析;
地质学研究;
生物食品及医药临床研究;
核材料分析
石油化工样品分析;
法医应用与研究;
分析特性
可同时检测周期表上几乎所有元素
低检出限(低至ppq级)
分析效益/成本比
线性动态范围宽—可直接检测从ppq到数百ppm浓度
谱线简单、干扰小,准确度和度好
需要样品量很低(ul至ml),分析速度很快(1——3分钟/样品)
检测模式灵活多样
半导体工业常用材料中**痕量污染物分析:
固体:Si;GaAa单晶切片;石英、碳化硅等炉材料;高**属电极等
Agilent ICP-MS可直接分析**样品:
Agilent ICP-MS的高效能、高功率屏蔽矩冷等离子体技术已被用于测定一系列**样品的ppt级痕量污染元素。
对其中一些样品,其他无法获到满意的结果,高功率屏蔽矩冷等离子体技术是种分析。
强碱性清洗剂——四甲基氢氧化(TMAH)等
高基体样品——光刻胶、液晶、BPSG、PSG等挥发性较强的清洗剂